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举一反三
【多选题】坚膜就是对显影后的基片进行 ，使应溶解部分的残留光刻胶溶剂全部 ，为溶解部分的光刻胶 增加，以在 环节 下面的膜层。
A.
烘烤
B.
挥发
C.
强度
D.
腐蚀
E.
保护
【多选题】晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。
A.
除去光刻胶中剩余的溶剂
B.
增强光刻胶对晶片表面的附着力
C.
提高光刻胶的抗刻蚀能力
D.
有利于以后的去胶工序
E.
减少光刻胶的缺陷
【多选题】涂胶就是将镀好膜的 装在 的接头上，利用基片在离心机上高速旋转的 ，将滴到基片中央的 溶液瞬间形成 的胶膜，胶膜的 与成胶的 和离心机的 有关。
A.
基片
B.
离心机
C.
离心力
D.
光刻胶
E.
均匀
F.
厚度
G.
浓度
H.
转速
【简答题】什么是坚膜试验?
【单选题】定影液的配置顺序正确的是
A.
定影剂—保护剂—中和剂—坚膜剂
B.
定影剂—中和剂—保护剂—坚膜剂
C.
定影剂—保护剂—坚膜剂—中和剂
D.
定影剂—坚膜剂—保护剂—中和剂
E.
定影剂—中和剂—坚膜剂—保护剂
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